用于輻照加工的電子加速器主要有兩大類，即電子直線加速器和高壓型電子加速器，過去大多數的輻照加速器屬于高頻高壓型加速器，能量多在5MeV以下。目前，直接用于輻照食品、藥品及醫療器械的高能加速器主要為微波直線加速器和花瓣型加速器，直線加速器的最大輸出功率已達到15－25KW，輸出/輸入比約為10%－20%。我國生產的高能加速器多為直線加速器。花瓣型電子加速器是IBA獨家專利技術、獨家生產銷售的加速器，其輸出/輸入比高達30%以上、IBA目前最大的型號是TT1000，輸出功率最高可達700KW。
目前國內生產上可用于食品輻射加工的高能微波直線加速器分為行波、駐波和返波加速器，它們在大結構上是基本相似的。主要區別在于使用微波電場形態不同，加速管不同，從而使得體積、效率、輔助的部件等不一樣。因此該三種加速器各有優劣，結構上駐波加速器最簡單，體積最小，返波加速器次之；行波與返波加速器的最大束流功率比較大，駐波加速器小一些；效率上，返波加速器的綜合效率最高，體積小，結構簡單，但是發展時間短，應用剛起步。因此可根據其特點，選擇適合的類型。
俄羅斯、日本、比利時、法國等國家都能生產高能電子加速器。其中以比利時IBA公司實力最強，其生產的RHODOTRON型加速器能量高（10MeV），功率大，技術先進，在加速器用于輻照食品、輻射消毒方面處于世界領先。
近幾年來國內加速器的研發工作進展迅速，2007年12月18日由中國原子能科學研究院自主設計研制的高能量、大功率的電子輻照加速器10MeV/15KW電子加速器輻照示范工程正式通過驗收。這是中國目前能量最高、功率最大，具備產業化應用條件的電子輻照加速器裝置，可應用于食品保鮮、醫療用品消毒、海關檢疫等領域。國內能生產10MeV電子加速器的科研生產單位還有如下幾家：
清華大學工程物理系，是國內主要的加速器研究生產單位之一。近年與威視股份公司合作生產了高能微波直線加速器，包括行波加速器，駐波加速器以及返波加速器，束流功率最大的產品是10MeV/20kW返波輻照加速器。
中科院高能物理研究所，研發成功高能微波直線加速器，先后研制出10MeV/15kW駐波輻照加速器和10MeV/15kW行波加速器。無錫愛邦公司和高能所合作，研發了10MeV/22kW微波直線行波輻照加速器。
南京大學、中國科技大學都生產行波加速器或駐波加速器。寧波超能公司生產10MeV/3－10kW行波輻照加速器。
上海農科院選用的ESS－010－03電子直線加速器，由日本IHI公司制造，額定能量為10MeV、功率10KW。
